- 测量方式:斐索干涉原理
通光口径:60mm
测试波长:635nm(半导体激光器)
对准方式:简单两点对准
对准视场:±0.5度
平面标准镜精度:PV:λ/10 -
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- 适用的材料包括:
• 硅基材料(Si,a-Si,poly Si)
• III-V材料(GaAs、InP、GaSb等)
• 第三代半导体材料(SiC、GaN 等)
• 红外材料(CZT、MCT等)
• 光电材料(LiNbO?、LiTaO?、SiO?等)
• 金属材料(Au、Cu、Al、Mo、TC4等) - 应用的范围包括:
• MEMS
• 半导体器件
• 半导体衬底
• 封装 -
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